SuperViewW中圖儀器光學三維輪廓儀系統(tǒng)以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

SuperViewW中圖儀器光學三維輪廓儀系統(tǒng)具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中,。

產品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,，可一鍵實現自動條紋搜索,、掃描等功能；

3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,，一鍵實現自動條紋搜索,、掃描等功能；

4)自動拼接測量,；支持方形,、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域，支持數千張圖像的無縫拼接測量,；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動單測量功能,，實現一鍵測量,；

6)數據處理功能：提供位置調整、去噪,、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

7)數據分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現一鍵批量分析,；

9)數據報表導出：支持word,、excel、pdf格式的數據報表導出功能,，支持圖像,、數值結果的導出；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié),、光源亮度調節(jié),、急停等；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設備調試和故障排查提供定量依據；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?，確保測量數據的高精度；

14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能,，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護,，軟件ZSTOP防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報警聲,；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險,。

產品特點

1、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品,。

2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暋?/p>

3,、聲波隔振防護

儀器外殼與內部運動機構采用了分離式設計，有效隔離了聲波振動的傳導,。

4,、水平調整裝置

傾斜調整旋鈕，調整條紋寬度,，提高3D圖像的重建精度,。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學設計,，集成了XYZ三軸位移和速度,、光源亮度的自動控制，并配有緊急停止按鈕,。

6,、真空吸附臺

專為半導體晶圓片定制的真空吸附臺，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像,。

7,、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下,，測量精度可達亞納米級別,。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描,、3D分析,、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊,，能夠適配中圖W系列,、VT系列、WT系列所有3D儀器機型,，可自主識別機型種類,，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領域的成功經驗,，重構了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點、線間的距離,、角度,、半徑等參數進行直接測量和自動匹配測量,。

自動化mark點識別坐標定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標位置校正，多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析,，可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動化測量。

自動拼接功能

支持方形,、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域，支持數千張圖像的無縫拼接測量,。

應用領域圖片

對各種產品,、部件和材料表面的粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

部分技術指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。